Описание:

Панели с ручным управлением SDC MicroLine™ предназначены для подачи газа высокого и низкого давления сверхвысокой чистоты. Как правило, для безопасной продувки и подачи технологического газа, серия MicroLine ™ предлагает 1, 2, 3, 4 и 6-клапанные конструкции. Конструкция трубопровода обеспечивает низкие объемы задержанного газа и минимизирует тупиковые отводы для повышения чистоты. Концепция модульного дизайна SDC позволяет клиенту адаптировать каждую систему для обеспечения требуемых условий безопасности, обработки, чистоты и экономичности. Конфигурации варьируются от простейшей конструкции с одним клапаном для безопасного использования до 6-клапанной конструкции, которая обеспечивает режимы вентиляционного выпуска высокого давления, вентиляционного выпуска низкого давления, глубокой очистки и откачки с применением трубки Вентури. Панели для газа сверхвысокой чистоты серии MicroLine также могут быть оснащены множеством опций, включая стравливание давления, фильтрацию, ограничительные отверстия для потока, гибкие соединительные выводы и многое другое.

Свойства контроллера FlexPowr™

• Автоматическое отключение панели MicroLine™
• Цветной сенсорный экран
• Конфигурируемые пользователем входы/выходы
• Аварийное отключение питания
• Совместимость с системой SCADA при использовании протокола Modbus или другого открытого протокола по Ethernet

Свойства распределительной панели

• Орбитальная сварка компонентов сверхвысокой чистоты / фитинги VCR
• Мембранные клапаны сверхвысокой чистоты 1/4 оборота
• Прецизионный регулятор сверхвысокой чистоты
• Манометры высокого и низкого давления
• Сварной соединительный вывод с CGA адаптером
• Электрополированная поверхность, 10Ra

Стандартные конфигурации

• 1 клапан (отключение до регулятора)
• 2 клапана (добавлен выпускной клапан высокого давления)
• 3 клапана (добавлено отключение после регулятора)
• 4 клапана (добавлен контур продувки)
• 4 клапана (добавлен соединительный вывод для глубокой очистки)
• 6 клапанов (добавлен выпускной клапан низкого давления и контур откачки)
• 6 клапанов (добавлен соединительный вывод для глубокой очистки)

Размеры

• 10,5 Ш x 15,5 В (в дюймах)

Опции

• Стравливание давления
• Продувочный запорный клапан (высокого давления)
• Выпускные ограничительные отверстия потока (высокого давления)
• Выходной фильтр (30 или 150 л/мин, 0,003 микрон)
• Фитинги баллона стандарта DISS
• 2-х или 3-х позиционный выходной сплиттер
• Одноступенчатый регулятор со связанной мембраной
• Двухступенчатый регулятор с несвязанной мембраной
• Двухступенчатый регулятор со связанной мембраной
• Регулятор абсолютного давления
• Диапазоны давления (30, 60, 100, 250 psig) для регулятора
• Фильтр предварительного регулятора (0,4 микрона)
• Весы для баллона (с цифровым ЖК-индикатором)
• Весы для баллона (с цифровым ЖК-индикатором и заданными значениями сигнализации)
• Динамометрические ключи для CGA/DISS соединителей
• Соленоидный клапан ESO
• Панельный монтаж соленоида для клапана ESO
• Мембранные выключатели