Описане

Компания Anda Semiconductor Technology была основана в 2002 году и специализируется на выпуске высокотехнологичного оборудования и материалов для полупроводниковой промышленности.
Заказчиками компании Anda Semicoductor Technology являются такие крупные компании, как AMD, Epson, DELL, BENQ, IBM, SAMSUNG, Oracle, Sony, Microsoft.

Особенности и преимущества станка двусторонней шлифовки:

• Высокоточная система контроля удаления с встроенной системой контроля толщины удаления
• Автоматическая система выравнивания пластины
• Ультраплавный пуск / стоп, функция помогает достичь ультра-плоских пластин
• Точная система контроля загрузки
• Высокоточная система изменения давления с высоким разрешением шагов
• Многоступенчатая система программирования с PSS-расширенные функции притирки
• Высокоэффективная система подачи суспензии для достижения наилучшей геометрии пластин (Anda – NTS ноу-хау)
• Точная система регулировки скорости (помогает достичь лучшей повторяемости результата от пластины к пластине, а также высокой равномерность обработки одной подложки)
• Полуавтоматическая система загрузки и выгрузки (опция)
• Производительность: Ø4 "× 35пластин
• Время цикла:

                  Первая шлифовка. ≤ 140 мин (850 → 730 нм)
                  Вторая шлифовка. ≤ 60 мин (730 → 700 нм)

• Стандартный выход годных: 97%
• Размеры машины: 1890 х 1750 х 2750 мм
• Вес: 5 600 кг