Особенности и преимущества:

• Производительность до 100 ст. л/ мин.
• Нейтрализация силана >99%
• Очистка от твердых частиц >99%
• Низкий расход воздуха на уплотнения
• выходной патрубок адаптирован для подключения
• следующей ступени очистки
• не требуется охлаждающая вода или топливо
• очень компактные размеры

Обрабатываемые вещества:

• Силан
• Тетраэтоксисилан (ТЭОС)
• Дихлорсилан
• Алкилфосфин (фосфин, фосфористый водород)
• Аммиак
• Вольфрам