Компания KLA-Tencor представила обновленную систему инспекции поверхности Candela CS-920. Система предназначена для детального обследования поверхности полупроводниковых и оптоэлектронных материалов, применяемых в силовой электронике, и позволяет контролировать технологический процесс и значительно повышать выход годной продукции.

Оборудование предназначено для контроля как непрозрачных (Si, GaAs, и InP), так и прозрачных материалов (SiC, GaN, сапфир, стекло).

Использование системы для контроля пластин перед эпитаксией

Candela CS-920 является наиболее продвинутым устройством для определения и классификации дефектов, критических для производства устройств на основе GaAs – от дефектов эпитаксии, таких как кратеры, кольца, до дефектов подложки, таких как плоскости скольжения кристаллов и пятна от полировки. Качество пластин, поставляемых как «epi-ready» может значительно отличаться даже в пределах партии от одного производителя.

Система Candela SC-920 предназначена для удовлетворения потребностей производителей структур на основе SiC, GaAs. На настоящий момент, более половины подложек из SiC производимых по всему миру обследуются с помощью технологии Candela OSA.